Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
reaktyvusis joninis ėsdintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ionic etcher vok. Anlage für reaktives Ionenätzen, f rus. установка реактивного ионного травления, f pranc. système de décapage ionique réactif, m … Radioelektronikos terminų žodynas
triodinis joninis ėsdintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. triode ion etcher vok. Dreielektrodenätzer, m; Triodenätzer, m rus. трёхэлектродная установка ионного травления, f pranc. machine de décapage ionique à trois électrodes, f … Radioelektronikos terminų žodynas
jonpluoštis ėsdintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam etch machine; ion beam etcher vok. Ionenstrahlätzer, m rus. установка ионно пучкового травления, f pranc. machine de décapage à faisceau ionique, f … Radioelektronikos terminų žodynas
joninis ėsdintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion etch reactor vok. Ionenätzreaktor, m rus. реактор для ионного травления, m; установка ионного травления, f pranc. réacteur de décapage ionique, m … Radioelektronikos terminų žodynas
magnetroninis joninis ėsdintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. magnetron ion etcher vok. Magnetronionenstrahlätzer, m rus. установка ионного травления магнетронного типа, f pranc. machine à décapage ionique en magnétron, f … Radioelektronikos terminų žodynas
daugiakameris ėsdintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multichamber etcher vok. Mehrkammerätzer, m rus. многокамерная установка травления, f pranc. machine à décapage multichambre, f … Radioelektronikos terminų žodynas
plazminis ėsdintuvas su lygiagrečiais elektrodais — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. parallel plate plasma etcher; parallel plate plasma etching reactor vok. Parallelelektroden Plasmaätzer, m rus. реактор с параллельными электродами для плазменного травления, m pranc. machine… … Radioelektronikos terminų žodynas
planarusis plazminis ėsdintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. planar plasma etcher; planar plasma etching reactor vok. Planarplasmaätzer, m rus. планарный реактор для плазменного травления, m pranc. réacteur planaire pour décapage à plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
plazminis ėsdintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etcher; plasma etching reactor vok. Plasmaätzer, m; Plasmaätzreaktor, m rus. реактор для плазменного травления, m; установка для плазменного травления, f pranc. réacteur pour décapage à … Radioelektronikos terminų žodynas
spinduliškas dujasrautis plazminis ėsdintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radial flow plasma etching reactor vok. Plasmaätzer mit radialem Strom, m rus. реактор плазменного травления с радиальным потоком, m pranc. réacteur de décapage par plasma à flux radial, m … Radioelektronikos terminų žodynas
